GIGAfab A

• Beste Ergebnisse in der Plasmabehandlung und hervorragende prozesstechnische Möglichkeiten
• Große, homogene Plasmaquelle
• Single‑Wafer‑Verarbeitung
• ISO‑5‑kompatibel
• Vollautomatisierung und FOUP‑Integration möglich
• SECS/GEM‑kompatibel