GIGAfab Modular

• Beste Ergebnisse in der Plasmabehandlung und hervorragende prozesstechnische Möglichkeiten
• Große, homogene Plasmaquelle
• Single‑Wafer‑Verarbeitung
• ISO‑6‑kompatibel
• Einzigartiges modulares System für maximale Flexibilität und hohen Durchsatz