A vertical PVA TePla plasma system unit featuring an open chamber with stacked metal trays for industrial semiconductor equipment processing.
Weitere Merkmale
| Plug-and-Play – zur Selbstinstallation geeignet |
| Flexible Elektroden |
| Industrie-PC mit LCD-Touchpanel und Tastatur |
| Windows-basiertes Betriebssystem |
| Grafische Benutzeroberfläche (GUI) konform mit CFR Title 21 Part 11 und SEMI E95-1101 |
| Mehrstufige Benutzerzugriffsrechte |
| Software |
| Rezepteditor für schnelle und flexible Schrittsteuerung |
| Integrierte Diagnosefunktionen und Alarmprotokollierung |
| Online-webbasierte Simulation/Schulung/Support |
Interesse an IoN 100 Systemen?