This PVA TePla unit is a specialized plasma system used in semiconductor equipment applications, featuring an integrated digital control interface.
Weitere Merkmale
| Kompaktes Tischgerät mit geringem Platzbedarf |
| Plug-and-Play – zur Selbstinstallation geeignet |
| Industrie-PC mit LCD-Touchpanel und Tastatur, Windows-basiertes Betriebssystem |
| Grafische Benutzeroberfläche (GUI) konform mit CFR Title 21 Part 11 und SEMI E95-1101 |
| Mehrstufige Benutzerzugriffsrechte |
| Software |
| Rezepteditor für schnelle und flexible Schrittsteuerung |
| Integrierte Diagnosefunktionen und Alarmprotokollierung |
| Fernprozessüberwachung via Ethernet |
| Online-webbasierte Simulation/Schulung/Support |
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