Typische Anwendungen

IoN 10Q Plasma System

  • Photoresistaschen & Descum
  • Oberflächenreinigung
  • Oberflächenaktivierung
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Weitere Merkmale
Kompaktes Tischgerät mit geringem Platzbedarf
Plug-and-Play – zur Selbstinstallation geeignet
Industrie-PC mit LCD-Touchpanel und Tastatur, Windows-basiertes Betriebssystem
Grafische Benutzeroberfläche (GUI) konform mit CFR Title 21 Part 11 und SEMI E95-1101
Mehrstufige Benutzerzugriffsrechte
Software
Rezepteditor für schnelle und flexible Schrittsteuerung
Integrierte Diagnosefunktionen und Alarmprotokollierung
Fernprozessüberwachung via Ethernet
Online-webbasierte Simulation/Schulung/Support

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