IoN 40Q Plasma System

Die fortschrittlichen Funktionen des Systems ermöglichen eine moderne, hochpräzise Prozesskontrolle, ausfallsichere Systemalarme sowie eine umfassende Datenerfassungs‑Software.

Dadurch erfüllt das System selbst strengste Qualitätsanforderungen, wie sie in der Herstellung von Halbleiter‑, LED‑ und MEMS‑Bauelementen gefordert werden.

Das IoN 40Q nutzt HF‑erzeugtes Plasma in einem kompakten, vollständig integrierten Systemaufbau.