IoN Custom series

• Individuelle Elektrodengeometrie für perfekte Uniformität und Prozesskontrolle
• Echte atomare Präzision oder Hochratenprozesse (z.B. Ätzen/Aktivieren/Abscheiden) wo Standardlösungen nicht ausreichen
• Integrierte High-End-Kapazitäten: Hochleistungs-PECVD, Multi-Zonen-Gasführung, Spezial-Eduktoren
• Kleinstmögliches Cleanroom-Footprint bei maximaler Funktionsdichte
• Vollumfängliches Turnkey-System inkl. Prozessentwicklung, Qualifikation, langjährigem Service (PVA TePla mit 50+ Jahren Plasma-Kompetenz)