VEgauge

• Vollständig anpassbares Inline-Inspektionssystem für makroskopische und mikroskopische Oberflächeninspektion
• Ortsauflösung von sub-µm bis in den Meterbereich – abgestimmt auf Ihre spezifischen Prozessanforderungen
• Sichtfeld, Probengröße und Systemabmessungen werden durch Ihre Produktionsumgebung definiert
• Nahezu Echtzeit-Auswertung für schnelles Prozess-Feedback
• Zerstörungsfreie Vollflächenprüfung (100 %) von Dünnschichten, Defekten, Verunreinigungen und Oberflächenrauheit
• Schichtanalyse von 1 nm bis 500 µm, konfiguriert für Ihren Materialstapel
• Substratspezifische Kalibrierung: Halbleiter, Metalle, Polymere, Keramiken, Glas und mehr
• Skalierbar für parallele Produktionslinien: mehrere Systeme gleichzeitig einsetzbar, jedes individuell konfiguriert
• Nahtlose Integration in bestehende Produktionsabläufe
• Zentrale Datenverwaltung und Steuerung über die VEsolve^® PRO Software