VEreveal

• Inline-Inspektionssystem für Halbleiter-Fertigungsumgebungen (ISO-Klasse 3)
• Verfügbar für die Makroinspektion (Makro), die Mikroinspektion (Mikro) oder beide kombiniert (Fusion)
• Nahezu Echtzeit-Erfassung und -Auswertung, ausgelegt für die kontinuierliche Produktionsüberwachung
• Vollflächige (100 %) Wafer-Inspektion in einem einzigen Messdurchlauf
• Ersetzt mehrere Messmethoden: kein separater Bedarf mehr für FT-IR, REM, LIBS, Röntgen oder AFM
• Ortsauflösung von 300 µm (Makro) bis in den Submikrometer-Bereich (Mikro)
• Unterstützt Wafergrößen bis zu 300 mm
• Zertifiziert nach SEMI S2, S8 und S14
• Vielseitige Anpassungsoptionen