LuXpector THEA

• Kosteneffizienter Betrieb: Reduzierte Gesamtbetriebskosten (TCO) durch intelligentes Design, modulare Komponenten und geringen Wartungsaufwand.
• Integrierte Servicefreundlichkeit: Modulares Design, Fernwartung und wartungsarme Hardware gewährleisten eine hohe Verfügbarkeit und einfache Instandhaltung.
• Benutzerfreundliche Oberfläche: Eine einfache Bedienung wird durch eine intuitive Benutzeroberfläche mit automatisierter Kalibrierung und Analyse sichergestellt – auch ohne Erfahrung in der Ellipsometrie.
• Flexible Integration: Ideal für F&E oder die Integration in Produktionslinien, mit Unterstützung für SEMI-Automatisierung und SECS/GEM.
• Keine Rückseitenreflexion (SiC): Präzise Dünnschichtanalyse auf SiC-Wafern, die Fehler durch Rückseitenreflexionen eliminiert und zuverlässige Ergebnisse liefert.
• AlGaN-Konzentration: Genaue Bestimmung des Aluminiumgehalts in AlGaN-Schichten durch fortschrittliche Bandkantenanalyse.