SAM Auto Tray

Zu den Hauptanwendungen zählen die Detektion von Voids, Einschlüssen und Delaminationen in Bond-Interfaces sowie die Erkennung von Schichtdickenvariationen in mehrlagigen Strukturen. Solche Defekte können in unterschiedlichen Ebenen des Bauteils auftreten. In der Serienproduktion ist ein hoher Durchsatz erforderlich. Daher unterstützt die proprietäre Software die gleichzeitige Inspektion mehrerer Schichten. Darüber hinaus stehen mehrere Transducer, das Scannen kompletter Trays sowie ein optimiertes Tray-Handling zur Verfügung.

SAM Auto Tray - Highlights

SAM Auto Tray ist eine kundenspezifische Lösung für die Inline-Prozessdiagnose und Prozesskontrolle, die sich dank folgender Eigenschaften in jede Produktionsumgebung integrieren lässt:

• Inline-Inspektion für JEDEC-Trays
• Reinraumkompatibilität bis Klasse 10
• Integrierte Datenanalyse und Automatisierung
• Software- und Fab-Kommunikation über SECS-Schnittstelle
• Entgasungssystem für Prozesswasser
• Automatischer Wasserwechsel mit Leitfähigkeitsüberwachung