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SAM Auto Wafer

Eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche stellt sicher, dass die leistungsstarke Funktionalität der Wafer-Automation einfach angewendet werden kann. 

Entwickelt nach Halbleiter-Industriestandards und aufgebaut auf einer zentralen Plattform, die modernste Produktionstechnologie nutzt, kann die Wafer-Automation 8- bzw. 12-Zoll-Wafer präzise handhaben und ist kompatibel mit Reinraumklasse ISO 5.

 

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Einblick in ein Scanning-Acoustic-Mikroskop.
Robotergreifer beim automatisierten Wafer-Transfer in einem PVA TePla System.

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