SIRD

• Ein Roboter transferiert den Wafer vom Carrier auf die Messbühne. Der Carrier kann entweder manuell durch einen Bediener oder automatisch über ein OHT (Overhead Hoist Transport) bereitgestellt werden.
• Das System führt ein automatisches Tuning für optimale Messeinstellungen durch – unabhängig vom Dotierungsgrad des Materials.
• Die Datenerfassung erfolgt gemäß einem vordefinierten Messprotokoll, das Messbereich, Auflösung und Messmodus festlegt.
• Nach der Messung wird der Wafer in den Carrier zurückgeführt, und die automatische Analyse der aufgenommenen Karte beginnt.
• Numerische Daten wie Defektanzahl nach Typ oder Intensität sowie anpassbare Berichte werden generiert und bei Bedarf über das standardisierte SECS/GEM‑Protokoll an den Host übertragen.