Wafer Surface Preparation System

• Layout für maximale Robustheit gegenüber Kreuzkontaminationen
• Je nach Anforderung hoch-automatisierter Ablauf der gesamten Prozesskette unter Reinraumbedingungen durch Ladestationen, Bestückungsroboter, Zwischenlagervorrichtungen & Medienbereitstellung
• Zentrale Steuerung der gesamten Anlage von den abzuarbeitenden Jobs über die Definition der Rezepte bis hin zur Erfassung aller Daten
• Externer Zugriff zu Steuerungs- und Überwachungszwecken ist möglich