化学气相沉积与渗透

气相加工方法能够以极高的精度沉积高纯度陶瓷和碳基材料。 在热化学气相沉积（CVD）中，反应性气体在高温下分解，形成高密度涂层或整体结构。化学气相渗透（CVI）将这一原理应用于多孔、纤维增强基体，使其从内到外逐渐致密化，从而制备出C/C和C/SiC等坚固的陶瓷基复合材料。流化床反应器（FBR）系统将这一能力扩展至颗粒材料，通过将颗粒状固体悬浮在流体状气流中，实现高度均匀的化学沉积。

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