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高级自动化

CGS1218

先进的自动化系统配备PLC控制、配方管理、基于摄像头的直径监测以及安全联锁装置，可减少操作员干预，最大限度地提高产量，并支持连续、低维护的运行。

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Viewing window of a Czochralski crystal growth chamber showing internal components

Czochralski crystal growth system with automated handling and high‑precision process equipment

技术参数

最大晶锭直径	12英寸 - 18英寸
晶锭长度	2800 毫米
承重能力	最大 450 公斤
热场	32" - 36"

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总高度（闭合状态）	13,900 毫米（10,000 毫米电缆版）+ 底座
总高度（展开）	113,900 毫米（10,000 毫米电缆版）+ 底座
宽度	约 3,300 毫米（舱室旋转展开时约 5,000 毫米）
深度	约 3,000 毫米（转出舱室时约 4,300 毫米）

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