FZ-14M/FZ-14MG

将生产过程中产生的小型多晶样品在氩气氛围中进行感应熔化，并以晶种为基底结晶成单晶。随后采用光谱分析法对单晶进行分析。通过此过程，可确定并记录所生产多晶硅的质量。 由于采用非接触式熔炼——涡轮分子泵产生的高极限真空以及使用超纯氩气作为工艺气氛——有效防止了工艺过程中的污染。

在FZ-14MG型号中，硅颗粒可放置于线圈下方，并通过上部进料口的晶种，以反向拉制工艺拉制出用于材料分析的单晶。为此，上部主轴可在X和Y两个方向上移动。