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Kronos

为了最大限度地提升用户便利性,该系统可选配移动式装卸系统,从而简化操作流程,确保高效且安全的运行。此外,其高精度的温度控制和梯度管理功能尤为值得关注,具体数值均可根据特定材料体系进行精准调整。

Kronos 为采用 VGF 工艺的晶体生产提供了强大且可靠的解决方案——完美契合现代半导体和材料技术的需求。

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Vertical Gradient Freeze crystal growth system in a cleanroom environment
技术参数
坩埚直径4英寸 – 6英寸
坩埚高度最大 450 毫米
炉膛直径800 毫米
炉膛高度975 毫米
工作压力最大 40 巴
加热器数量4
材料砷化镓、磷化铟
高度约 3,800 mm(不含可选温度测量单元)
宽度约 1,920 mm
深度约 3,000 mm
总重量约 6,000 kg
建议天花板高度移至少 5,000 mm(用于拆卸腔体顶盖)

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