A vertical PVA TePla plasma system unit featuring an open chamber with stacked metal trays for industrial semiconductor equipment processing.
其他功能
| 即插即用，自行安装 |
| 柔性电极 |
| 配备LCD触摸屏和键盘的工业计算机 |
| 基于Windows的操作系统 |
| 图形用户界面 (GUI) 软件符合《联邦法规》第 21 篇第 11 部分和 SEMI E95-1101 标准 |
| 多级用户访问权限 |
| 软件 |
| 配方编辑器，可实现快速且多功能的步骤控制 |
| 车载诊断功能和警报记录 |
| 基于网络的在线模拟/培训/支持 |
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