典型应用

IoN 10Q 等离子体系统

  • 光刻胶灰化与去膜
  • 表面清洗
  • 表面活化
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其他功能
占地面积小,采用桌面式设计
即插即用,自行安装
配备LCD触摸屏和键盘的工业计算机。基于Windows的操作系统
图形用户界面(GUI)软件符合《联邦法规》第21篇第11部分及Semi E95-1101标准
多级用户访问权限
软件
配方编辑器,用于快速且多功能的步骤控制
板载诊断功能和报警记录
通过以太网进行远程过程监控
基于网络的在线模拟/培训/支持

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