典型应用

Ion 40 等离子系统

  • 表面清洁
  • 表面活化
  • 表面功能化
  • 硅氧烷和有机薄膜的沉积
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其他功能
占地面积小,采用桌面式设计
即插即用,自行安装
灵活的电极
配备LCD触摸屏和键盘的工业计算机
基于Windows的操作系统
图形用户界面 (GUI) 软件符合《联邦法规》第 21 篇第 11 部分和 SEMI E95-1101 标准
多级用户访问权限
软件
配方编辑器,可实现快速且多功能的步骤控制
板载诊断功能和报警记录
通过以太网进行远程过程监控
基于网络的在线模拟/培训/支持

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