IoN 40Q 等离子体系统

其先进的功能提供了最先进的工艺控制、故障安全系统警报和数据采集软件。这使得该系统能够满足制造半导体、LED 和 MEMS 器件所需的严格质量控制要求。IoN 40Q 采用射频 (RF) 产生的等离子体，集成于紧凑、完全集成的设备中。