Corporate

优点

GIGAbatch 310M

  • 紧凑型台式设计
  • 经济实惠的价格
  • 基板尺寸灵活（2 英寸至 6 英寸）
  • 批量处理（每次最多 25 片晶圆）
  • 可选配定制晶圆舟支撑臂
  • 手动抽屉门
  • 微波等离子体源
  • 快速灰化速率及无损伤工艺
  • 广泛的基板兼容性
下一页
Giga Batch frontend plasma system with open chamber door showing wafers inside.
技术参数
频率2.45 GHz
功率0-600 W
电气连接230 V, 15 A, 50/60 Hz
真空室石英材质，直径 245 毫米，深度 395 毫米，容积 18 升
尺寸（宽/高/深）约 795 x 660 x 710 毫米
重量150 公斤

对 GIGAbatch 3.1亿感兴趣吗？

联系我们

联系表单
Corporate