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优点

GIGAbatch 360/380M

  • 紧凑型设计
  • 专为生产应用设计
  • 拥有成本极低
  • 符合洁净室标准的玻璃前板
  • 多功能基板处理（2 英寸至 8 英寸）
  • 高吞吐量（每次运行多达 75 片晶圆）
  • 包含定制晶圆支撑臂
  • 用于装载晶圆的电动门
  • 装载过程中不与等离子腔接触

也可根据要求提供

  • 过程压力主动控制装置（DSC）
  • 法拉第笼
  • 附加气道
  • 适用于不同尺寸基板或晶圆的装载装置
  • 陶瓷工艺腔室
  • 适用于含氟工艺气体的专用密封件
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Gigabatch 380 detail view showing open circular chamber door and control panel.
技术参数
频率2.45 GHz
功率0-1,000 W
电气连接230 V，15 A，50/60 Hz
真空室石英材质，深度 395 毫米
真空腔 360M直径 245 毫米，容积 18 升
真空腔 380M直径 300 毫米，容积 28 升
尺寸（宽/高/深）约 795 x 1,540 x 710 毫米
重量190 公斤

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