GIGAbatch 360/380P

等离子系统 GIGAbatch 360P 和 380P 适用于半导体行业最严苛的要求，且采用相同的腔室几何结构。360P 型号的腔室直径为 245 毫米，最多可容纳 50 片直径为 150 毫米的晶圆。 380P 系统的腔室内径为 300 毫米，因此可容纳 25 片直径为 200 毫米的晶圆。与 M 系列系统相比，P 系列系统的区别在于其符合最高达 100 级洁净室的要求。

GIGAbatch 380P 是一款用于整批装卸晶圆的全自动系统。