优点

GIGAfab A

  • 最佳等离子处理效果与工艺工程能力

  • 大型平面等离子体源

  • 单晶圆处理

  • 符合 ISO 5 标准

  • 全自动化及 FOUP 集成可能性

  • 兼容 SECS/GEM

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Gigafab A detail view showing open processing chamber with interior components.

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