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优点

GIGAfab M

最佳等离子处理效果与工艺工程能力
大型平面等离子体源
支持单片或批量处理，最大晶圆尺寸为 300 毫米或 4×150 毫米
符合 ISO 5 标准

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Plasma frontend Gigafab M detail view showing a drawer with two wafers inside.

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