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优点

GIGAfab Modular

最佳等离子处理效果与工艺工程能力
大型平面等离子体源
单晶圆处理
符合 ISO 6 标准
独特的模块化系统，实现最大灵活性和吞吐量

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Gigafab Modular detail view showing green wafer carriers inside the chamber.

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