VEgauge

• 适用于宏观和微观表面检测的完全可定制在线检测系统
• 空间分辨率从亚微米级到米级，可根据您的具体工艺要求量身定制
• 视场、样品尺寸及系统尺寸均由您的生产配置决定
• 近实时评估，实现快速工艺反馈
• 对薄膜、缺陷、污染物及表面粗糙度进行无损、全表面（100%）检测
• 1 纳米至 500 微米的层分析，根据您的材料堆叠进行配置
• 针对特定基材的校准：半导体、金属、聚合物、陶瓷、玻璃等
• 可扩展至多条并行生产线：同时部署多套系统，每套均可单独配置
• 与现有生产工作流无缝集成
• 通过 VEsolve^® pro 软件实现集中化数据管理与控制