VEreveal

• 专为半导体工厂环境（ISO 3级）设计的在线检测系统
• 支持宏观检测（macro）、微观检测（micro）或两者结合（fusion）
• 近实时采集与评估，专为连续生产监控设计
• 单次运行即可实现晶圆全表面（100%）检测
• 替代多种测量方法：无需单独进行FT-IR、SEM、LIBS、X射线或AFM测量
• 空间分辨率从 300 µm（宏观）到亚微米级（微观）
• 支持最大300毫米的晶圆尺寸
• 通过 SEMI S2、S8 和 S14 标准认证
• 多样的定制选项