LuXpector THEA

• 经济高效的运行：通过智能设计、模块化组件和低维护需求，降低总体拥有成本（TCO）。
• 内置可维护性：模块化设计、远程支持以及低维护硬件确保了高运行时间和便捷的维护。
• 用户友好界面：直观的界面配合自动校准和分析功能，确保操作简便，即使没有椭圆偏振光谱仪使用经验也能轻松上手。
• 灵活集成：非常适合研发或集成到生产线中，支持 SEMI 自动化和 SECS/GEM。
• 无背面反射：(SiC) 对 SiC 晶圆进行精确的薄膜分析，消除背面反射造成的误差，确保结果可靠。 
• AlGaN 浓度：通过先进的带边分析，准确测定 AlGaN 层中的铝含量。