主要应用

SAM Auto Tray

主要应用包括检测粘接界面中的空洞、夹杂物和分层,以及识别多层结构中的层厚变化。此类缺陷可能出现在元件的不同层中。在批量生产中,高吞吐量至关重要。因此,专有软件支持多层同时检测。此外,还提供多传感器、托盘全扫描以及优化的托盘处理功能。

SAM Auto Tray - 功能

SAM Auto Tray 是一款专为客户定制的在线工艺诊断与工艺控制解决方案,凭借以下特点,可集成到任何生产环境中:

  • JEDEC 托盘在线检测
  • 兼容最高达 10 级洁净室
  • 集成数据分析与自动化
  • 通过 SECS 接口实现软件与晶圆厂通信
  • 工艺用水脱气系统
  • 带电导率监测的自动换水功能
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PVA TePla Auto-Tray system featuring an enclosed automated handling unit with robotic mechanisms for loading and transferring trays.

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