SIRD SiC 200

• 应力测量
  晶圆级定量应力测量
   
• 宽掺杂范围
  可实现电阻率低至 5.1 mOhm·cm 的掺杂水平
   
• 自动化
  ：基于工艺配方（Recipe）的测量与分析，实现全自动化。支持 SECS/GEM 及 OHT 协议。
   
• 适用于多种半导体材料
  ：碳化硅、氮化镓、硅、砷化镓、磷化铟、氮化铝等。