SIRD

• 机器人将晶圆从托盘转移至测量台。托盘可由操作员放置，也可通过悬挂式运输系统（OHT）自动放置。
• 该设备会根据材料掺杂等级自动调整至最佳测量参数。
• 数据将根据预定义的测量协议进行记录，该协议详细规定了感兴趣区域、分辨率和测量模式。
• 测量完成后，晶圆将返回至托盘，并开始对测量图进行自动分析。
• 系统将生成数值数据（例如按类型或强度统计的缺陷数量）和可自定义的报告，并可根据需要通过标准 SECS/GEM 协议将数据发送至主机。