晶圆表面制备系统

• 布局设计旨在最大限度地防止交叉污染。
• 根据需求，可在洁净室环境下实现整个工艺链的高自动化工作流程，利用装载站、搬运机器人、中间存储设备及介质供应系统。
• 对整个系统进行集中控制，从作业管理和配方定义到所有数据的记录。
• 支持远程访问以进行控制和监控。