Hochspezialisiert / stark vernetzt
Mit Unternehmen in nahezu allen zukunftsweisenden Technologiebereichen bündeln wir Ideen, jahrzehntelange Erfahrungen und Branchenkenntnisse zu Ihrem Vorteil.
Unser weltweites Netzwerk aus Niederlassungen und Partnern - viele davon Weltmarktführer - garantiert Ihnen einen umfassenden Service und die ständige Verfügbarkeit unserer Anlagen und Technologien. Durch die langfristige Zusammenarbeit sichern wir allen eine verlässliche und zukunftsfähige Entwicklung.
PVA TePla / Beteiligungen
Vacuum & Nitriding Systems
Die Industrial Vacuum Systems ist Marktführer für Druck-Sinteranlagen, Hochvakuum-Lötöfen und Diffussionsschweißanlagen für großformatige Bauteile — etablierter Lieferant für induktiv beheizte Vakuum-Schmelz-, Gieß- sowie Plasma-Nitrieranlagen.
Metrology & Plasma Solutions
Plasma Anlagen und IR-Messsysteme zur Reinigung und Entfernung von organischen Schichten sowie zur Qualitätsinspektion und Überwachung von Fertigungsprozessen in der modernen Halbleiterindustrie, beispielsweise von Scherstress in Wafern, zur Implantationskontrolle und Oberflächeninspektion.
Crystal Growing Systems
Seit 60 Jahren ist die Crystal Growing Systems führender Systemlieferant von Kristallzuchtanlagen für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie — Floating-Zone- und Czochralski-Systeme für ultrareine Silizium- und Germanium-Kristalle.
Scanning Acoustic Microscopy
Die Analytical Systems entwickelt Anlagen zur Ultraschall-Inspektion, insbesondere für Kristallzuchtanlagen und optische Analysesysteme für die Halbleiterindustrie. Alleinstellungsmerkmale sind die besonders feine Auflösung und die Inspektion von 300mm-Silizium-Ingots.
Vacuum Processing Service
Mehr als 15 Jahre steht die Löt- und Werkstofftechnik im Zeichen individueller Vakuumprozesstechnik zum Vakuumlöten, Diffusionsschweißen und zur Vakuumwärmebehandlung — komplettiert durch eine fügetechnische Bauteil- und Materialberatung.
Software Production Automation
Die SPA Software Entwicklungs GmbH bedient Kunden weltweit mit spezifischen Softwareprogrammen für die industrielle Automatisierung von Produktionssystemen. Stark im Bereich der Halbleiterindustrie bietet sie komplette Systeme mit hochpräziser Messtechnik sowie die Bilderfassung mit dazugehöriger Datenanalyse zur Waferinspektion an.
