VEpioneer Serie

• Vollständig integriertes, Ein-Knopf-Tischgerät – Hyperspectral Vision System, sofort einsatzbereit
• Zerstörungsfreie Vollflächenprüfung (100 %) in einem einzigen Messdurchlauf
• Schnelle Messung in weniger als 10 Sekunden
• Schichtdickenerkennung von 1 nm bis 500 µm, abhängig vom Schichtmaterial
• Ortsaufgelöste Erkennung von Defekten, Verunreinigungen und Oberflächeneigenschaften
• Kompatibel mit einer Vielzahl von Substraten: Halbleiter, Metalle, Polymere, Keramiken, Glas und mehr
• Zentrale Steuerung und Auswertung über die VEsolve^® PRO Software

VEpioneer MACRO

• Kompaktes Tischgerät für die makroskopische Inspektion
• Probengrößen bis zu 360 × 360 mm möglich
• Ortsauflösung von 100 – 300 µm mit verfügbaren Hochauflösungs-Scanmodi
• Individuell angepasster Probentisch und vielseitige Anpassungsoptionen

VEpioneer MICRO

• Tischgerät, optimiert für die mikroskopische Inspektion
• Erreicht sub-mikron Ortsauflösung abhängig vom Mikroskopobjektiv
• Probengrößen bis zu 130 × 130 mm
• Flexibler Betrieb: manuelle Steuerung per Joystick oder vollautomatisch per Software

VEpioneer CORE

• Das weltweit kleinste vollständig integrierte Hyperspectral Vision Tischgerät
• Ultrakompakte Stellfläche von nur 230 × 200 mm bei lediglich 12 kg
• Ausgelegt für Probengrößen bis zu 100 × 100 mm
• Liefert eine Ortsauflösung von 100 µm – ideal als Einstieg in die hyperspektrale Inspektion

VEpioneer SEMI

• Reinraumkompatible Version (ISO-Klasse 3) mit integrierter Laminarströmungs-FFU
• Konzipiert für die makroskopische Wafer-Inspektion, unterstützt 200 mm und 300 mm Wafer
• Ausgestattet mit 3-Punkt-Waferhalter für eine sichere, kontaminationsfreie Handhabung
• Ortsauflösung ab 300 µm mit verfügbaren Hochauflösungs-Scanmodi