LiquidPrep 800 mit µSI

LiquidPrep 800 mit µSI wurde für die anspruchsvollen Anforderungen der ICP-MS-Analyse in der Halbleiterfertigung und bei der Herstellung hochreiner Chemikalien entwickelt. Durch die Automatisierung von Kalibrierung, Probenverdünnung und Probeneinführung reduziert das System manuelle Eingriffe bei jedem kritischen Schritt und liefert so die Konsistenz und Genauigkeit, die in Umgebungen mit hohen Reinheitsanforderungen erforderlich sind.

Vorteile

  • Kontaminationen frühzeitig erkennen
  • Weniger manuelle Arbeit, zuverlässigere Ergebnisse
  • Ein System. Ein vollständiger Workflow.
  • Für den Reinraum entwickelt
  • Veränderungen im Spurenbereich frühzeitig erkennen
  • Automatisierte, bedienerunabhängige Ergebnisse
  • Von der Probe bis zu den Daten – ohne Übergaben
  • ISO-Klasse 3, SEMI S2, Zugang ausschließlich von der Vorderseite

µSI – das Probenzuführungsmodul

µSI ist ein Probeneinführungsmodul, das in unmittelbarer Nähe des ICP-MS positioniert ist, um den Flüssigkeitstransportweg zwischen der abschließenden Probenvorbereitung und der Messung zu minimieren. Dieses Design trägt dazu bei, das Kontaminationsrisiko nach Abschluss der Probenvorbereitung zu reduzieren, und ermöglicht eine Probeneinführung in das ICP-MS unter saubereren Transferbedingungen. Durch die Begrenzung der Exposition während des abschließenden Einführschritts trägt µSI dazu bei, die Integrität der Probe für die Ultraspurenanalyse zu bewahren.

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Detail LiquidPrep 800 chemical monitoring and sample preparation system
Pipette probe positioned above a black sample vial in an automated laboratory analysis system.
Technische Daten
MesstechnikICP-MS (Induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie)
Probenvolumenbereich500 µl bis 500 ml
ChemikalienHF, HNO₃, H₂O₂, HCl und andere Säuren*
ReinraumanforderungenISO 3 oder besser
Relative Luftfeuchtigkeit50–60 % nicht kondensierend
Temperatur18–24 °C
Stromversorgung200–230 V Wechselstrom, 50/60 Hz, 3 A
ZertifizierungenCE, SEMI S2
*Bei Verwendung mit anderen Chemikalien kontaktieren Sie uns vorab. 

 

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