技术参数
| 测量技术 | ICP-MS（电感耦合等离子体质谱法） |
| 样品体积范围 | 500 µl 至 500 ml |
| 化学品 | HF、HNO₃、H₂O₂、HCl及其他酸类* |
| 洁净室要求 | ISO 3级或更高 |
| 相对湿度 | 50–60 %（无冷凝） |
| 温度 | 18–24 °C |
| 电源要求 | 200–230 V 交流电，50/60 Hz，3 A |
| 认证 | CE、SEMI S2 |
| *如需与其他化学品配合使用，请联系制造商。 |
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配备 µSI 功能的 LiquidPrep 800 专为满足半导体制造和超纯化学操作中 ICP-MS 分析的严苛要求而设计。通过实现校准、样品稀释和样品进样过程的自动化，该设备减少了每个关键步骤中的人工干预，从而提供了高纯度环境所要求的一致性和准确性。
优势
µSI 是一款位于 ICP-MS 紧邻处的样品进样模块，旨在最大限度地缩短从最终制备到测定之间的液体传输路径。这种设计有助于降低样品制备完成后的污染风险，并确保在更洁净的传输条件下将样品引入 ICP-MS。 通过限制最终进样步骤中的暴露时间，µSI有助于保持样品的完整性，从而满足超痕量分析的需求。
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