可用系统

PlaTeG.Nitride 

Mono-Plant:
• 低成本入门
方案• 单腔室
设计• 可选配穿梭式和串联式配置

穿梭式生产线:
• 性价比最高•
集成腔室传输
• 可选串联模式

串联式生产线:
• 高效运行
• 双腔室
• 每周5个工作日,每天2班,全年无休

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Multiple PulsPlasma® nitride treatment systems aligned in a production facility showing piping and control panels
技术参数
尺寸200280
脉冲电流 PP 发生器 [A]6060
最大充电重量 [kg]500750
最大有效尺寸 (Ø×H) [mm]600 x 700600 x 1,000
有效容积 [l]200280
温度范围 [°C]350 - 600350 - 600

下载 200 型产品手册 下载 280 型产品手册

尺寸

600700
脉冲电流 PP 发生器 [A]120120
最大装载重量 [kg]2,0002,000
最大有效尺寸 (ØxH) [mm]800 × 1,200800 x 1,400
有效容积 [l]600700
温度范围 [°C]350 - 600350 - 600

下载 600 型产品手册 下载 700 型产品手册

尺寸135022504400
脉冲电流 PP 发生器 [A]200300500
最大装载重量 [kg]3,0005,0008,000
最大有效尺寸 (Ø×H) [mm]1,000 × 1,7001,200 x 2,0001,600 x 2,200
有效容积 [l]1,3502,2504,400
温度范围 [°C]350 - 600350 - 600350 - 600

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