VEpioneer series

• 完全集成的一键式台式高光谱视觉系统，开箱即用
• 单次运行即可实现无损、全表面（100%）检测
• 测量速度快，10 秒内即可完成
• 层厚检测范围为 1 纳米至 500 微米（取决于层材料）
• 可对缺陷、污染物及表面特性进行空间分辨识别
• 兼容多种基材：半导体、金属、聚合物、陶瓷、玻璃等
• 通过 VEsolve^® pro 软件实现集中控制与评估

VEpioneer Macro

• 专为宏观检测设计的紧凑型台式系统
• 支持最大 360 × 360 毫米的样品尺寸
• 空间分辨率为100–300 µm，并提供高分辨率扫描模式
• 专用的样品台及多样的定制选项

VEpioneer micro

• 专为显微检测优化的台式系统
• 根据显微镜物镜的不同，可实现亚微米级空间分辨率
• 可处理最大130 × 130毫米的样品
• 操作灵活：可通过操纵杆手动控制，或通过软件实现全自动操作

VEpioneer Core

• 全球最小型的全集成高光谱视觉台式系统
• 超紧凑机身，尺寸仅为 230 × 200 毫米，重量仅 12 公斤
• 专为最大100 × 100毫米的样品尺寸设计
• 提供100微米的空间分辨率，是进入高光谱检测领域的理想入门选择 

VEpioneer Semi

• 洁净室兼容版本（ISO 3级），配备集成层流FFU
• 专为宏观晶圆检测设计，支持200毫米和300毫米晶圆
• 配备三点式晶圆夹具，确保安全、无污染的操作
• 空间分辨率从 300 µm 起，并提供高分辨率扫描模式