技術規格（基本款）
| 最大裝載重量 [公斤] | 1,400 |
| 工件最大尺寸 (寬 x 高 x 深) [mm] | 1,000 x 1,000 x 1,200 |
| 最高溫度 [°C] | 1,200 |
| 極限真空度 [mbar] | ≤5×10⁻⁷ |
| 快速冷卻最大壓力 [mbar] | 800 |
| 最大裝載重量 [公斤] | 1,400 |
| 工件最大尺寸 (寬 x 高 x 深) [mm] | 1,200 x 1,200 x 1,500 |
| 最高溫度 [°C] | 1,100 |
| 極限真空度 [mbar] | ≤5×10⁻⁷ |
| 快速冷卻最大壓力 [mbar] | 800 |
| 最大裝載重量 [公斤] | 1,400 |
| 工件最大尺寸 (寬 x 高 x 深) [mm] | 1,350 x 1,250 x 1,350 |
| 最高溫度 [°C] | 1,100 |
| 極限真空度 [mbar] | ≤5×10⁻⁷ |
| 快速冷卻最大壓力 [mbar] | 800 |
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