石墨純化

• 石墨、碳纖維布（CFC）及碳氈的純化
  • 透過氯 (Cl) 或氟 (F) 載體，將碳化物結合的雜質氣化。
• 對已處理部件進行二次淨化，去除沉積物或製程產生的雜質（例如來自 MOCVD 製程）
• 回收來自鎘拉絲機（Cz-pullers）的熱區部件（退火處理）

• 某些雜質（例如硫）僅需利用真空與高溫即可被氣化。
• 其他雜質則無法氣化，因為它們會形成非常穩定的碳化物 
• 因此，需要氯和氟來形成可蒸發的化學成分。
• 揮發性成分會從熱區被輸送至冷阱和過濾器。
• 洗滌器會從廢氣中去除未反應的鹵素。 

• 來自淨化過程的廢氣可能具有腐蝕性及／或有害性。 
  • 必須透過淨化系統（洗滌塔）從氣體中去除有害成分。
• 操作液為氫氧化鈉堿液、氫氧化鉀堿液或類似物質。
  • pH 值由系統自動控制。
• 工藝氣體以逆流方式通過噴灑的堿液，以實現最大的接觸面積和停留時間。

我們的石墨淨化爐專為石墨及 CFC 組件的淨化而設計。在真空條件下，透過高溫處理去除雜質。我們會根據客戶需求，採用反應性或非反應性氣體進行處理。客戶回報的純度水準令人印象深刻，可達 3 ppm 以下。PVA TePla 系統以實現最高系統運行時間而聞名。

首先在真空高溫下對批次進行初步純化，藉此熱分解去除揮發性成分。後續處理則使用含鹵素氣體，使氯和氟能在過程中發揮有效的反應配體作用。製程最高溫度可達 2,200 至 2,400°C。

這些極端的製程條件要求最高的安全標準，並需對所用材料的特性有精確的了解。在選用材料與組件時，會考量到反應性氣體環境，以確保系統能達到最大的運轉時間。

製程氣體及其反應產物需進行廢氣後處理，以符合《空氣技術指南》（TA Luft）規定或同等標準。此後處理通常透過氣體洗滌塔來執行。專為該設備量身打造的批次處理系統，則為這套全面的解決方案提供了完整的配套。

為了生產標準及客製化的壓力容器、組件和真空腔室，我們在歐洲設有自營的製造廠。該廠完全不使用化石燃料供電，完全符合我們的永續發展目標。

關鍵優勢一覽

• 快速交貨：大幅降低對外部供應商的依賴。
• 靈活的客製化：可立即實施短通知期的設計變更。
• 可靠的材料供應：憑藉長期建立的在地合作夥伴關係，能持續取得高品質材料。
• 最高加工品質（含標準認證）：透過內部執行焊接作業，可直接監控接合處的合規性，這對於符合 UNI EN ISO 3834 等標準至關重要。
• 頂級標準：當然，我們的設施完全符合我們對品質、安全與永續性的嚴格要求。