先進材料檢測

量測服務
Lab worker operates scanning acoustic microscopy process in a clean, bright laboratory while another person walks in the background.

量測服務

透過 PVA TePla 的先進量測服務,深入掌握您的材料與元件的精確特性。我們提供高解析度的無損特性分析,以支援半導體及先進材料領域的研究、製程優化與品質保證。

 

我們與客戶攜手合作,制定客製化的測量策略、量身打造的測試方案,以及清晰的評估流程。我們的應用實驗室可處理廣泛的材料,包括 Si、GaAs、GaN、SiC 及 InP,並支援最大 450 mm 的晶圓尺寸。

 

所有測量服務均包含專業的圖形化評估及詳盡的測試報告。憑藉先進的軟體工具與客製化評估方案,我們確保測量結果具備一致性、量化性及可比性。

測量服務概覽

C-Scan mode of Scanning Acoustic Microscopy. Planar mapping of an IC sample Delaminated areas are red.

超音波掃描顯微鏡 (SAM)

高解析度聲學成像技術,用於檢測內部缺陷與材料界面。

超音波掃描顯微鏡 (SAM)

掃描紅外線去極化/晶圓內應力掃描量測 (SIRD)

晶片缺陷與應力的快速映射。

掃描紅外線去極化/晶圓內應力掃描量測 (SIRD)