化學氣相沉積與滲透

氣相處理方法能夠以極高的精準度沉積高純度陶瓷及碳基材料。 在熱化學氣相沉積（thermal CVD）中，反應性氣體於高溫下分解，形成高密度塗層或單晶結構。碳化氣相沉積（CVI）將此原理應用於多孔、纖維增強基材，使其由內而外逐漸致密化，從而製成堅固的陶瓷基複合材料，例如 C/C 和 C/SiC。纖維床反應器（FBR）系統則將此能力延伸至顆粒狀材料，透過將顆粒狀固體懸浮於類流體氣流中，實現高度均勻的化學沉積。

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