晶圓檢測

超音波顯微鏡是一種高解析度的檢測技術。它利用聚焦超音波，將材料與組件內部的結構與缺陷進行視覺化呈現與深度分析。

對半導體晶圓中的應力場、缺陷及埋藏結構進行快速、非接觸且無損的測量與特性分析。

這項獨特技術能在數秒內提供有關表面特性、污染物及生產偏差的深入分析。

對微量元素進行早期且經濟高效的檢測

橢圓偏光儀技術（橢偏儀）是一種高精度的光學量測技術。它透過偵測偏振光在樣品表面反射時產生的狀態改變，來精準測量薄膜厚度（Thin-film Thickness）與材料的光學特性。