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進階自動化

CGS1218

透過PLC控制、配方管理、基於攝影機的直徑監測以及安全聯鎖裝置等先進自動化技術，可減少操作員介入、最大化產能，並支援持續且低維護的運作。

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Viewing window of a Czochralski crystal growth chamber showing internal components

Czochralski crystal growth system with automated handling and high‑precision process equipment

技術資料

最大錠直徑	12 英吋 - 18 英吋
錠長	2,800 公釐
載重能力	最高 450 公斤
加熱區	32 英吋 - 36 英吋

下載產品手冊

總高度（收起狀態）	13,900 毫米（10,000 毫米纜繩版本）+ 底座
總高度（展開）	113,900 毫米（10,000 毫米纜繩版本）+ 底座
寬度	約 3,300 毫米（轉出腔室時約 5,000 毫米）
深度	約 3,000 毫米（轉出式腔室時約 4,300 毫米）

下載產品手冊

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