A vertical PVA TePla plasma system unit featuring an open chamber with stacked metal trays for industrial semiconductor equipment processing.
其他功能
| 即插即用，自行安裝 |
| 彈性電極 |
| 配備 LCD 觸控面板與鍵盤的工業電腦 |
| 基於 Windows 的作業系統 |
| 圖形使用者介面 (GUI) 軟體符合《聯邦法規彙編》第 21 篇第 11 部分及 SEMI E95-1101 標準 |
| 多層級使用者存取權限 |
| 軟體 |
| 配方編輯器，可進行快速且多功能的步驟控制 |
| 內建診斷功能與警報記錄 |
| 基於網路的線上模擬／培訓／支援 |
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