IoN 40Q 等離子系統

其先進功能提供最先進的製程控制、故障安全系統警報及資料擷取軟體。這使該系統能夠滿足製造半導體、LED 及 MEMS 裝置所需的嚴格品質控制規範。IoN 40Q 採用射頻 (RF) 產生的等離子體，並整合於緊湊且完全集成的機箱中。