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優點

GIGAbatch 310M

  • 緊湊型桌上型設計
  • 經濟實惠的價格
  • 支援多種基板尺寸（2 吋至 6 吋）
  • 批次處理（每次最多 25 片晶圓）
  • 客製化晶圓舟支撐臂（選配）
  • 手動抽屜門
  • 微波等離子體源
  • 快速灰化速率與無損傷製程
  • 廣泛的基板相容性
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Giga Batch frontend plasma system with open chamber door showing wafers inside.
技術資料
頻率2.45 GHz
功率0-600 W
電氣連接230 V，15 A，50/60 Hz
真空室石英材質，直徑 245 公釐，深度 395 公釐，容積 18 公升
尺寸（寬/高/深）約 795 x 660 x 710 毫米
重量150 公斤

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