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優點

GIGAbatch 360/380M

  • 緊湊型設計
  • 專為生產應用而設計
  • 擁有極低的擁有成本
  • 符合潔淨室標準的玻璃前板
  • 多功能基板處理（2 吋至 8 吋）
  • 高產能（每次運行可處理多達 75 片晶圓）
  • 包含客製化晶圓支撐臂
  • 電動門用於晶圓裝載
  • 裝載過程中不與等離子腔室接觸

亦可應要求提供

  • 用於製程壓力的主動控制裝置 (DSC)
  • 法拉第籠
  • 額外的氣體導管
  • 適用於不同尺寸基板或晶圓的裝載裝置
  • 陶瓷製程腔室
  • 適用於含氟製程氣體的特殊密封件
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Gigabatch 380 detail view showing open circular chamber door and control panel.
技術資料
頻率2.45 GHz
功率0-1,000 W
電氣連接230 V，15 A，50/60 Hz
真空室石英材質，深度 395 毫米
真空室 360M直徑 245 毫米，容積 18 公升
真空腔室 380M直徑 300 毫米，容積 28 公升
尺寸（寬/高/深）約 795 x 1,540 x 710 毫米
重量190 公斤

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